1.1土壤濕度
土壤濕度，即表示一定深度土層的土壤干濕度程度的物理量，又稱土壤水分含量。土壤濕度的高低受農田水分平衡各個分量的制約。
1.2土壤濕度傳感器
土壤濕度傳感器又名土壤水分傳感器，土壤含水量傳感器。土壤水分傳感器由不銹鋼探針和防水探頭構成，可長期埋設于土壤和堤壩內使用，對表層和深層土壤進行墑情的定點監測和在線測量。與數據采集器配合使用，可作為水分定點監測或移動測量的工具測量土壤容積含水量，主要用于土壤墑情檢測以及農業灌溉和林業防護。
1.3 土壤濕度表示方法
土壤濕度，即土壤的實際含水量，可用土壤含水量占烘干土重的百分數表示：土壤含水量=水分重/烘干土重×100％。也可以相當于土壤含水量與田間持水量的百分比，或相對于飽和水量的百分比等相對含水量表示。
根據土壤的相對濕度可以知道，土壤含水的程度，還能保持多少水量，在灌溉上有參考價值。土壤濕度大小影響田間氣候，土壤通氣性和養分分解，是土壤微生物活動和農作物生長發育的重要條件之一。
土壤濕度受大氣、土質、植被等條件的影響。在野外判斷土壤濕度通常用手來鑒別，一般分為四級：（1）濕，用手擠壓時水能從土壤中流出；（2）潮，放在手上留下濕的痕跡可搓成土球或條，但無水流出；（3）潤，放在手上有涼潤感覺，用手壓稍留下印痕；（4）干，放在手上無涼快感覺，粘土成為硬塊。
農業氣象上土壤濕度常采用下列方法與單位表示：
①重量百分數。即土壤水的重量占其干土重的百分數(％)。此法應用普遍，但土壤類型不同，相同的土壤濕度其土壤水分的有效性不同，不便于在不同土壤間進行比較。
②田間持水量百分數。即土壤濕度占該類土壤田間持水量的百分數(％)。利于在不同土壤間進行比較，但不能給出具體水量的概念。
③土壤水分貯存量。指一定深度的土層中含水的數量，通常以毫米為單位，便于與降水量、蒸發量比較。土壤水分貯存量W（毫米）的計算公式為:W＝0.1·h·d·w。式中h是土層厚度，d為土壤容重（克／厘米3）,0.1是單位換算系數，w為土壤濕度（重量百分數）。
④土壤水勢或水分勢是用能量表示的土壤水分含量。其單位為大氣壓或焦／克。為了方便使用，可取數值的普通對數，縮寫符號為pF，稱為土壤水的pF值。
1.4 土壤濕度測量方法
土壤既是一種非均質的、多相的、分散的、顆粒化的多孔系統，又是一個由惰性固體、活性固體、溶質、氣體以及水組成的多元復合系統，其物理特性非常復雜，并且空間變異性非常大，這就造成了土壤水分測量的難度。土壤水分測量方法的深入研究，需要一系列與其相關的基礎理論支持，尤其是土壤作為一種非均一性多孔吸水介質對其含水量測量方法的研究涉及到應用數學、土壤物理、介質物理、電磁場理論和微波技術等多種學科的并行交叉。而要實現土壤水分的快速測量又要考慮到實時性要求，這更增加了其技術難度。
土壤的特性決定了在測量土壤含水量時，必須充分考慮到土壤容重、土壤質地、土壤結構、土壤化學組成、土壤含鹽量等基本物理化學特性及變化規律。
①重量法。取土樣烘干，稱量其干土重和含水重加以計算。
②電阻法。使用電阻式土壤濕度測定儀測定。根據土壤溶液的電導性與土壤水分含量的關系測定土壤濕度。
③負壓計法。使用負壓計測定。當未飽和土壤吸水力與器內的負壓力平衡時，壓力表所示的負壓力即為土壤吸水力，再據以求算土壤含水量。
④中子法。使用中子探測器加以測定。中子源放出的快中子在土壤中的慢化能力與土壤含水量有關，借助事先標定，便可求出土壤含水量。
⑤遙感法。通過對低空或衛星紅外遙感圖象的判讀，確定較大范圍內地表的土壤濕度。
2土壤濕度傳感器概述
2.1土壤濕度傳感器分類
經過半個多世紀的發展，土壤濕度傳感器已經種類繁多、形式多樣。濕度的測量具有一定的復雜性，人們熟知的毛發濕度計、干濕球濕度計等已不能滿足現代要求的實際需要。因此，人們研制了各種土壤濕度傳感器。濕度傳感器按照其測量的原理，一般可分為電容型、電阻型、離子敏型、光強型、聲表面波型等。
電容型土壤濕度傳感器
電容型土壤濕度傳感器的敏感元件為濕敏電容，主要材料一般為金屬氧化物、高分子聚合物。這些材料對水分子有較強的吸附能力，吸附水分的多少隨環境濕度的變化而變化。由于水分子有較大的電偶極矩，吸水后材料的電容率發生變化，電容器的電容值也就發生變化。把電容值的變化轉變為電信號，就可以對濕度進行監測。濕敏電容一般是用高分子薄膜電容制成的，當環境濕度發生改變時，濕敏電容的介電常數發生變化，使其電容量也發生變化，其電容變化量與相對濕度成正比，利用這一特性即可測量濕度。常用的電容型土壤濕度傳感器的感濕介質主要有：多孔硅、聚酞亞胺，此外還有聚砜(PSF)、聚苯乙烯(PS)、PMMA(線性、交聯、等離子聚合)。
為了獲得良好的感濕性能，希望電容型土壤濕度傳感器的兩級越接近、作用面積和感濕介質的介電常數變化越大越好，所以通常采用三明治型結構的電容土壤濕度傳感器。它的優勢在于可以使電容型土壤濕度傳感器的兩級較接近，從而提高電容型土壤濕度傳感器的靈敏度。
圖1為常見的電容型土壤濕度傳感器的結構示意圖。交叉指狀的鋁條構成了電容器的兩個電極，每個電極有若干鋁條，每條鋁條長400µm，寬8µm，鋁條間有一定的間距。鋁條及鋁條間的空隙都暴露在空氣中，這使得空氣充當電容器的電介質。由于空氣的介電常數隨空氣相對濕度的變化而變化，電容器的電容值隨之變化，因而該電容器可用作濕度傳感器。多晶硅的作用是制造加熱電阻，該電阻工作時可以利用熱效應排除沾在濕度傳感器表面的可揮發性物質。
電容型土壤濕度傳感器在測量過程中，就相當于一個微小電容，對于電容的測量，主要涉及到兩個參數，即電容值C和品質參數Q。土壤濕度傳感器并不是一個純電容，它的等效形式如圖11.3虛線部分所示，相當于一個電容和一個電阻的并聯。
2.電阻型土壤濕度傳感器
電阻型土壤濕度傳感器的敏感元件為濕敏電阻，其主要的材料一般為電介質、半導體、多孔陶瓷等。這些材料對水的吸附較強，吸附水分后電阻率／電導率會隨濕度的變化而變化，這樣濕度的變化可導致濕敏電阻阻值的變化，電阻值的變化就可以轉化為需要的電信號。例如，氯化鋰的水溶液在基板上形成薄膜，隨著空氣中水蒸氣含量的增減，薄膜吸濕脫濕，溶液中的鹽的濃度減小、增大，電阻率隨之增大、減小，兩級間電阻也就增大、減小。又如多孔陶瓷濕敏電阻，陶瓷本身是由許多小晶顆粒構成的，其中的氣孔多與外界相通，通過毛孔可以吸附水分子，引起離子濃度的變化，從而導致兩極間的電阻變化。
濕敏電阻的特點是在基片上覆蓋一層用感濕材料制成的膜，當空氣中的水蒸氣吸附在感濕膜上時，元件的電阻率和電阻值發生變化，利用這一特性即可測量濕度。
電阻型土壤濕度傳感器可分為兩類：電子導電型和離子導電型。電子導電型土壤濕度傳感器也稱為“濃縮型土壤濕度傳感器”，它通過將導電體粉末分散于膨脹性吸濕高分子中制成濕敏膜。隨濕度變化，膜發生膨脹或收縮，從而使導電粉末間距變化，電阻隨之改變。但是這類傳感器長期穩定性差，且難以實現規模化生產，所以應用較少。離子導電型土壤濕度傳感器，它是高分子濕敏膜吸濕后，在水分子作用下，離子相互作用減弱，遷移率增加，同時吸附的水分子電離使離子載體增多，膜電導隨濕度增加而增加，由電導的變化可測知環境濕度，這類傳感器應用較多。在電阻型土壤濕度傳感器中通過使用小尺寸傳感器和高阻值的電阻薄膜，可以改善電流的靜態損耗。
電阻型土壤濕度傳感器結構模型示意圖如圖11.4所示。會屬層1作為連續的電極，它與另一個電極是隔開的?；钚晕镔|被淀積在薄膜上，用來作為兩個電極之間的連接，并且這個連接是通過感濕傳感層的，濕敏薄膜則直接暴露在空氣中，在金屬層2上挖去一定的區域直到金屬層1，用這些區域作為傳感區。金屬層和金屬層2只是作為電極，它們之問是沒有直接接觸的。整個傳感器是山許多這樣的小單元組成的。根據傳感器所需的電阻值的不同，小單元的數目是可以調節的。因為兩個電極之問的連接只能在每個小單元中確定，所以整個傳感器的構造可以看成是一系列的平行電阻。
圖4 電阻型土壤濕度傳感器結構示意圖
根據高分子薄膜電阻型濕度傳感器的物理結構及高分子材料的感濕機理，可將電阻型濕敏元件的電路等效為一個電阻和電容并聯或串聯的模型，如圖11.5所示。
圖5 電阻型土壤濕度傳感器簡化電路和等效電路圖
實際上，圖11.5中的兩種等效方法是一致的，不同的是，采用右圖可以直接得到傳感器阻抗的實部和虛部，即傳感器的電阻與電容分量，其等效轉化如下：
圖片6 轉化公式
式中，R0和C0分別是濕度傳感器等效成串聯模型時的電阻分量和電容分量；Z0是串聯模型時的復阻抗； Z0為復阻抗的模。
3.離子型土壤濕度傳感器
離子敏場效應晶體管(ISFET)屬于半導體生物傳感器，是上個世紀七十年代由P．Bergeld發明的。ISFET通過柵極上不同敏感薄膜材料直接與被測溶液中離子緩沖溶液接觸，進而可以測出溶液中的離子濃度。
離子敏型土壤濕度傳感器結構模型示意圖如圖11.6所示。離子敏感器件由。離子選擇膜(敏感膜)和轉換器兩部分組成，敏感膜用以識別離子的種類和濃度，轉換器則將敏感膜感知的信息轉換為電信號。離子敏場效應管在絕緣柵上制作一層敏感膜，不同的敏感膜所檢測的離子種類也不同，從而具有離子選擇性。
圖7離子型土壤濕度傳感器結構示意圖
離子敏場效應管(ISFET)兼有電化學與MOSFET的雙重特性，與傳統的離子選擇性電極(ISE)相比，ISFET具有體積小、靈敏、響應快、無標記、檢測方便、容易集成化與批量生產的特點。但是，離子敏場效應管(ISFET)與普通的MOSFET相似，只是將MOSFET柵極的多晶硅層移去，用濕敏材料所代替。當濕度發生變化時，柵極的兩個金屬電極之間的電勢會發生變化，柵極上濕敏材料的介電常數的變化將會影響通過非導電物質的電荷流。
因此，ISFET在生命科學研究、生物醫學工程、醫療保健、食品加工、環境檢測等領域有廣闊的應用前景。
2.2 三種土壤濕度傳感器的分析比較
通過對三種土壤濕度傳感器的研究可知：電容型土壤濕度傳感器是由交叉指狀鋁條構成電容器的電極，利用空氣充當電容器的電介質，隨空氣相對濕度的變化其介電常數發生變化，電容器的電容值也將隨之變化，所以該電容器可用作土壤濕度傳感器；
電阻型土壤濕度傳感器是由通過感濕傳感層的兩個電極構成的許多小單元組成，利用小單元的數目改變，使電阻值發生變化，所以可用作土壤濕度傳感器；
離子敏型土壤濕度傳感器由敏感膜和轉換器兩部分組成，利用敏感膜來識別離子的種類和濃度，轉換器則將敏感膜感知的信息轉換為電信號，因此也可作為土壤濕度傳感器。
同時根據對三種不同類型的土壤濕度傳感器結構示意圖研究發現：由于多孔硅與CMOS工藝不兼容，并且多孔硅制備的工藝條件及后處理、孔隙及孔徑大小的控制很困難，同時多孔硅的感濕機理比較復雜，因此CMOS濕度傳感器的主要感濕介質以聚酞亞胺為主。聚酞亞胺類的傳感器可與CMOS工藝兼容，成本也較低，并且無需高溫加工和加熱清潔，它對濕度的感應不像多孔陶瓷易受污染。而若用CMOS工藝生產電阻型濕度傳感器和離子敏型濕度傳感器，它們需要改動較多CMOS的工藝。例如：改變生產過程的先后順序，使用新的掩膜板等，這些都會耗費大量的流片資金；并且與標準的CMOS工藝相比，工藝較不成熟，增加了流片的風險性；同時它們存在著難與外圍電子封裝在一起的困難。
另外，電容型濕度傳感器(CHS)由于感應相對濕度范圍大，并且結構與等效形式較簡單，生產過程較容易，因此對它的研究受到了廣泛重視。以梳狀鋁電極結構的聚酞亞胺作為電容型土壤濕度傳感器的感濕介質的優點主要是可與CMOS工藝相兼容，可利用成熟的標準CMOS工藝來加工，且加工工藝較簡單，所以能夠把更多的器件(敏感器件或外圍的電路器件)集成在同一塊芯片上或封裝在一起，使土壤濕度傳感器具有更好的性能或更多的功能。同時有利于使土壤濕度傳感器向小型化、集成化、成本低、功能全面等好的方向發展。
